Нанотехнологические Комплексы выполнены на платформе НаноФаб 100, основу которой составляют:

• Сверхвысоковакуумный модуль Острийно–Зондовых технологий (СТМ, АСМ и пр.)
• Модули технологий на основе Фокусированных Ионных Пучков (ФИП, ФИП+ГФЭ и пр.)
• Модули Групповых Ростовых технологий (МЛЭ, ГФЭ и пр.)
• Вспомогательные модули (загрузки,  переворота пластин, очистки и пр.)

Выполненные на платформе НаноФаб 100 Нанотехнологические Комплексы  позволяют создавать на подложках с размерами до 100 мм наноэлектронные, нанофотонные, спинтронные  и пр. наноструктуры, наноэлементы и наностройства.