В базовой комплектации (НТК-3) модуль СЗМ  включает три связанные транспортной системой сверхвысоковакуумные камеры - СЗМ камеру, Загрузочную камеру и Зондовую камеру. Каждая из камер снабжена отдельным ионным насосом, предварительная откачка камер осуществляется станцией предварительной откачки. СЗМ камера снабжена системой активной виброзащиты.

   Загрузочная камера служит для загрузки образцов с размерами до 100 мм в диаметре. В Зондовой камере на карусельной кассете могут размещаться 12 различных Зондовых Головок как для проведения СТМ, АСМ, ЭСМ, МСМ и других видов зондовых микроскопий, так и для проведения операций нанолитографии, наноманипуляций, функционального контроля, сборки и т.д. Зондовая камера содержит также средства для подготовки зондов (очистки электрическим полем).

   Отличительной особенностью СЗМ камеры является универсальность – путем смены Зондовых Головок, устанавливаемых на 50-мкм сканер, можно реализовать до 40 СЗМ методик, наличие прецизионного (точность позиционирования 0,5 мкм) координатного стола позволяет работать по всей площади 100 мм пластины. Наличие дополнительного 3 мкм сканера, установленного непосредственно на координатном столе, позволяет с повышенным разрешением проводить исследования малоразмерных образцов.

   Функциональные возможности модуля СЗМ могут быть существенно расширены за счет установки на свободные фланцы камер дополнительных устройств и оборудование, предназначенного для работы в условиях сверхвысокого вакуума.

Сканирующая Зондовая Микроскопия
АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ МСМ/ ЭСМ/  Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая+Токовая/ СТМ/
Спецификация
Образец*
Размер		до 100 мм в диаметре, до 8 мм в высоту
Вес		До 150 г.
Система сканирования
Область сканирования		50x50x6 мкм
Минимальный шаг сканирования		0.006 нм
Разрешение в плоскости XY (бесконтактная АСМ)		0.15 нм
Разрешение по оси Z (бесконтактная АСМ)		0.1 нм
Неортогональность сканера по оси Z		5 град
Неортогональность сканера в плоскости XY		2 град
Неплоскостность сканирования в плоскости XY		400 нм
Координатный стол
XY позиционирование образца		100x100 мм
Скорость перемещения координатного стола		250 мм/с
Точность репозиционирования		менее 1 мкм (peak-to-peak)
Дрейф
В плоскости XY		2 A/c
По оси Z		1.5 A/c
Вакуум
Аналитико-технологическая камера		1.2x10-8 Па
Камера предварительной загрузки образцов		5х10-7Па
Камера загрузки и подготовки зондов		5х10-7Па
Виброизоляция	Активная	1-200 Гц
	Пассивная	выше 200Г ц

*-Исследования малоразмерных образцов (до 10 мм в диаметре) осуществляются расположенным на координатном столе сканером с областью сканирования 3x3x2,6 мкм