Нанотехнологические комплексы на базе НаноФАБ 100 Информационная брошюра  (0.7 Mb)   Контакт Д.т.н. Виктор Александрович Быков Генеральный директор ЗАО НТ-МДТ E-mail: vbykov@ntmdt.ru; Tel.: + 7 (495) 535-24-93 Fax: + 7 (495) 535-64-10

  НТК семейства НаноФаб 100 имеют модульную конструкцию и в зависимости от комплектации могут быть использованы как для исследовательских целей в различных областях нанотехнологии (микро- и наноэлектроника, нанофотоника, наноматериаловедение и пр.), так и для мелкосерийного производства наноструктур, наноэлементов и наноустройств.

  НТК, включающие модули локальных обработок и измерений (СЗМ и ФИП технологий) наряду с модулями групповых технологий (МЛЭ, ГФЭ, плазменное напыление и пр.), фактически представляют собой  Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур и наносистем на их основе. При этом Нанофабрики содержат две подсистемы - сверхвысоковакуумную (СЗМ, МЛЭ, ФИП ... технологии) и подсистему модулей газофазных и др. технологий с более низким вакуумом, связанную со сверхвысоковакуумной подсистемой через модули очистки пластин. Таким образом, платформа НаноФаб 100 позволяет реализовать практически все известные атомарно-прецизионные технологии.

  Относительная простота систем управления и обеспечения работы позволяют использовать НТК семейства НаноФаб 100  также и для подготовки научных и производственных кадров при проведении научных исследований в учебных центрах и центрах коллективного пользования.

  Основными функциональными модулями платформы НаноФаб 100 являются:
 – Сверхвысоковакуумный модуль Острийно–Зондовых технологий (модуль СЗМ) для осуществления нанолитографических операций, наноманипуляций, функционального контроля полученных наноструктур и наноэлементов, а также операций контроля параметров наноматериалов и наноструктур с применением более чем 40 СЗМ методов (АСМ, СТМ, ЭСМ, МСМ и пр.);
 – Сверхвысоковакуумный модуль технологий на основе Фокусированных Ионных Пучков (модуль ФИП ) для осуществления операций локального ИП воздействия (резки, травления и пр.);
 – Сверхвысоковакуумный модуль Лазерноых технологий очистки и напыления методом Лазерной Абляции;  
 – Модули Групповых Ростовых технологий создания монокристаллических слоев и наноструктур методами Газофазной и Молекулярно-Лучевой Эпитаксии (модули МЛЭ и ГФЭ);
–  Вспомогательные модули (загрузки,  переворота пластин, очистки и пр.).

  Путем комбинирования перечисленных модулей на платформе НаноФаб 100 формируются различные нанотехнологические установки, в частности НТК-3 (СЗМ технологии), НТК-4 (СЗМ+ФИП технологии), НТК-5 МЛЭ  (СЗМ+ФИП+МЛЭ технологии), к которым могут добавляться другие функциональные модули.