НаноФаб 100      Модуль СВВ СЗМ

    Модуль Высокоразрешающего Переменнотемпературного Сверхвысоковакуумного СЗМ предназначен для работы в условиях сверхвысокого вакуума в широком температурном диапазоне. ВР СЗМ построен по двухкамерной схеме – в центральной камере расположен собственно СЗМ, а в дополнительной камере расположена карусель с набором зондовых головок (стандартный набор включает 8 СЗМ и 4 СТМ головки). Обе камеры связаны моторизованным линейным манипулятором, осуществляющим смену зондовых головок. При автономном использовании СВВ СЗМ НФ загрузка образцов осуществляется с помощью третьей камеры - камеры загрузки, при использовании с модулями нанотехнологических комплексов НаноФаб 100 загрузка образцов осуществляется средствами модулей НаноФаб 100. 

    Отличительной особенностью ВР СЗМ является универсальность – путем смены Зондовых Головок можно не только осуществлять смену зондов по мере их износа, но и реализовать до 40 различных СЗМ методик.

    Методики измерений

АСМ: контактная + полуконтактная + бесконтактная / Отображение Фазы/Латерально-Силовая Микроскопия/  Модуляция Силы/ МСМ/ ЭСМ/  Метод Зонда Кельвина/ Емкостная Микроскопия/Отображение Сопротивления Растекания/ Отображение Адгезионных Сил/
СТМ: Метод Постоянного Тока/Метод Постоянной Высоты/Отображение Работы Выхода/отображение Плотности Состояний/

Спецификация
Образец
Размер		порядка 12х12 мм до 6 мм в высоту
Диапазон температурных измерений		от 200К до 12000С
Система сканирования
Область сканирования		10x10x3 мкм
Минимальный шаг сканирования		0.006 нм
Разрешение в плоскости XY		0.14 нм - СТМ, атомарное - АСМ
Разрешение по оси Z		0.1 нм - СТМ, атомарное - АСМ
Координатный стол
XY позиционирование образца		10x10 мм
Скорость перемещения координатного стола		250 мм/с
Точность репозиционирования		0.3 мкм
Вакуум
Аналитико-технологическая камера		2x10-8 Па
Камера загрузки и подготовки зондов		10-7Па
Виброизоляция	Активная	1-200 Гц
	Пассивная	выше 200Г ц