Установка роста углеродных нанотрубок CVDomna
Установка роста углеродных нанотрубок CVDomna предназначена для обучения
Установка CVDomna состоит из реакторной печи, обеспечивающей использование обрабатываемых структур диаметром до
Технические характеристики:
Тип камеры: |
Цилиндр, (кварцевая керамика в металлическом кожухе) |
Размеры подложки: |
< |
Загрузка подложки: |
Ручной |
Источники напускаемых ПГС: |
Жидкость (ацетон, этанол, бензол), Газ (пропан-бутановая смесь) |
Нагрев: |
Максимальная температура: 1200 С. |
Скорость нагрева: |
Максимальная скорость: 150 С/с. |
Интерфейс: |
Программное управление |
Минимальное давление: |
1 кПа. (форвакуумный насос) |
Плазма: |
Нет |
Назначение: |
Учебно-исследовательское |
Аксессуары:
реактивы,
каталитические структуры,
методики получения углеродных нанотрубок каталитическим пиролизом,
сборник лабораторных работ по методам химического осаждения из газовой фазы.
Используемые методики:
Методика формирования каталитических структур для роста планарных многослойных углеродных нанотрубок, позволяющая задавать центры и направления роста отдельных нанотрубок;
Методика формирования каталитических структур на основе золь-гель метода и диэлектрофореза;
Методика роста непланарных многослойных углеродных нанотрубок на структурах с развитой поверхностью (в частности, на зондах атомно-силовых микроскопов (АСМ)).
Преимущества:
Высокая функциональность:
Возможность формирования структур с планарными многослойными углеродными нанотрубками, предпочтительные центры и направление роста которых задаются геометрией многослойной каталитической пленки;
Возможность выращивания непланарных многослойных углеродных нанотрубок на структурах c развитой поверхностью;
Возможность выращивание материала нанотрубок в виде аэрогеля;
Широкий диапазон параметров получаемых нанотрубок (диаметр 1-40 нм, длина до 50 мкм);
Обеспечивается использование подложек стандартного для кремниевой и сапфировой технологии диаметра (
Ручная загрузка обеспечивает возможность установки подложек и структур любых размеров и формы (в пределах внутренних габаритов реакционной камеры);
Источники напускаемых ПГС могут быть как газовыми (снабжение из стандартных баллонов со сжатым газом), так и жидкостными (подача осуществляется из испарительных ячеек либо методом барбатажного дозирования);
К установке прилагаются: описание методик получения углеродных нанотрубок, набор каталитических структур различных типов, реактивы; опционально - сборник студенческих лабораторных работ по методам химического осаждения из газовой фазы.
Удобное конструктивное исполнение:
Малые габариты – установка легко размещается на рабочем столе;
Удобная и интуитивно понятная компоновка основных органов управления;
Отсутствие легко повреждаемых компонент (например, кварцевых емкостей);
Использование в качестве материала реакционной камеры кварцевой керамики. Данный уникальный материал является продуктом конверсии космических технологий и позволяет в частности легко масштабировать параметры реакционной камеры в соответствии с требованиями заказчика.
Безопасность и простота процесса эксплуатации:
Источником ПГС служит этиловый спирт;
Отсутствие необходимости в специальной вытяжке;
Рабочее давление процесса роста углеродных нанотрубок соответствует возможностям форвакуумного насоса, что упрощает конструкцию и снижает время выхода на рабочий режим;
Блокировка поднятия колпака реакционной камеры в состоянии наличия вакуума.
Эргономичность:
Программируемый режим работы. Энергонезависимая память электронного блока управления позволяет сохранять до 100 программ пользователя;
Удобная панель управления;
Высокий уровень проектирования и исполнения всех узлов установки;
Привлекательный внешний вид.