Этот инструментарий определит действительное изображение поверхности Вашего образца.
Что это такое деконволюция?
Деконволюция – это разновидность решения обратной задачи. АСМ изображение зависит не только от рельефа поверхности образца, но и от формы зонда которая в большинстве случаев неизвестна. Процедура деконволюции позволяет определить форму кончика использованного зонда и восстановить реальное изображение поверхности.
Как это работает?
Для определения формы кончика зонда следует использовать специальные калибровочные решетки TGT1, которые представляют собой регулярно расположенные острия известной формы. По полученному АСМ изображению острия с помощью специального ПО DECONVO восстанавливается форма кончика зонда, а это дает возможность осуществить коррекцию других изображений, полученных с использованием данного зонда.
Как это выглядит?
|
|
|
АСМ изображение TGT1 решетки полученное с помощью обычного зонда. | Изображение решетки после коррекции программой DECONVO. |
Действительный размер и угол используемой решетки. |
|
|
|
Изображение пленки Al2O3 полученное с помощью кремниевого зонда(3D вид) |
Скорректированное изображение программой DECONVO.(Примечательно, что после обработки толстые стенки гексагональной структуры стали гораздо тоньше) |
Изображение пленки Al2O3 полученное с помощью ультро-тонкого зонда. (Примечательно, что стенки имеют среднюю толщину ) |
Сколько это стоит?
ПО Deconvo1_1 Вы можете скачать бесплатно.
TGT1 решетки, необходимые для процедуры деконволюции, эксклюзивно производятся компанией НТ-МДТ и могут быть заказаны здесь.
Где можно узнать подробнее о деконволюции?
- Узнать подробнее о деконволюции и ПО DECONVO можно из статьи “Test structure for SPM tip hape deconvolution”, а также из
- Deconvo1.1_manual
- Возникшие вопросы связанные с ПО DECONVO Вы можете отправлять Антону Ефимову efimov@ntmdt.ru или Стасу Лесменту leesment@ntmdt.ru.