Основу комплектации ИНТЕГРА Терма составляют высокостабильные высокотемпературная и низкодрейфовая термоголовки.
Высокостабильная низкодрейфовая составная АСМ головка включает нагревательный узел со встроенным сканером и считывающий узел с системой регистрации отклонения кантилевера. Температурный узел позволяет изменять температуру образца от -30 до 80 оС и может снабжаться сканерами с диапазонами сканирования 10x10x5 мкм (+/-10%) и 2х2х4 мкм (+/-10%).
Высокотемпературная термоголовка с диапазоном сканирования 50х50х5 мкм позволяет использовать термостолик с нагревом образца до 300 оС.
|