Ближнепольный оптический СЗМ комплекс   ИНТЕГРА Соларис

 

   Основу СЗМ комплекса ИНТЕГРА Соларис составляют сканирующая СБОМ измерительная головка, снабженная кварцевым резонаторным датчиком вибрации оптоволокна, и сканирующее оптическое сменное основание.
   Особенностью сканирующей СБОМ измерительной головки является наличие снабженного емкостными датчиками 100 мкм сканера.
   Оптическое сменное основание обладает целым рядом особенностей. Оно позволяет осуществлять сканирование образцом в пределах 50х50 мкм, а также допускает ручное перемещение образца в пределах 5х5 мм с точностью 5 мкм. В сменное основание встроен держатель объектива с 100 мкм Z-сканером, при этом грубый подвод объектива к образцу осуществляется с помощью шагового двигателя. Большая механическая жесткость такая конструкции позволяет использовать иммерсионные высокоапертурные объективы.