Автоматизированный СЗМ комплекс
ИНТЕГРА Максимус
|
|
Основу СЗМ комплекса ИНТЕГРА Максимус составляет сменное основание с моторизованным координатным столом, позволяющим осуществлять перемещение образца по одной координате до 50 мм и вращение образца в плоскости в пределах от 0 до 360 градусов.
Существенной особенностью комплектации ИНТЕГРА Максимус является также возможность проведения автоматизированных измерений, позволяя осуществлять высокопроизводительные измерения, т.н. high throughput screening.
Наличие в базовом пакете программ макроязыка обеспечивает максимальную гибкость в выборе процедуры исследования.
Использование сканирующей АСМ-головки, включающей сканер с емкостными датчиками, позволяет производить измерения метрологического качества. |