СЗМ Solver HV

Download Solver HV datasheet.

Solver HV предназначен для работы в условиях высокого вакуума и в контролируемой газовой среде. Сканирующая высоковакуумная (ВВ) АСМ измерительная головка разработана на основе конструкции обычной АСМ головки по вакуумной технологии с использованием вакуумно-совместимых материалов. Корпус ВВ АСМ головки не имеет покрытия, провода без оплетки и ее разъемы металлизированы. Для снижения термических дрейфов в ВВ АСМ головке применяется предусилитель с пониженным тепловыделением и установлены термокомпенсаторы. ВВ АСМ головка снабжена специальным автоматизированным приводом подвода зонда к исследуемому образцу, разработанному на основе шагового двигателя предназначенного для работы в условиях высокого вакуума. ВВ АСМ головка устанавливается в вакуумную камеру на платформу, конструкция которой аналогична платформе для стандартной головки SMENA. Для удобства установки и извлечения ВВ АСМ головки из камеры вместе с платформой, платформа снабжена специальными ручками. В ВВ АСМ головке предусмотрена возможность работы в комнатных условиях, как и с обычной головкой прибора SMENA. Для этого ВВ АСМ головку следует соединить с СЗМ контроллером через специальные удлинители (входящие в комплект) напрямую, минуя вакуумную камеру.

АСМ измерительная головка в вакуумной камере

    Методики измерений

Контактная АСМ/ МЛС/ Резонансная АСМ (полуконтактная + бесконтактная)/ Метод отображения Фазы/ Метод модуляции силы/ Изображение Силы Адгезии/ Отображение сопротивления растекания/ СЕМ/ МЗК/ МСМ/ ЭСМ/ RM литография/ АСМ

Технические характеристики
Вакуум	10-7 торр
Насосы	Комбинация ротационного насоса и турбо-молекулярного насоса
Скорость насосов	340 л/сек (зависит от модификации используемого турбомолекулярного насоса)
Диапазон температур	Охлаждение: азотное до 110К, гелиевое до 50К Нагрев до 150С
Контроль среды	Возможность плазменной обработки поверхности образца, использования неагрессивых газов (такие как O2, H2, т.д.)
Размер образца	порядка 10х10 мм
Диапазон сканирования	100х100х4 мкм 50х50х2,5 мкм
Разрешение	разрешение атомарных ступенек на графите при АСМ
Оптическая видеосистема	доступна для АСМ
Магнитное поле	800 Oe-10"; 500 Oe-30"
SNOM	Модуль измерений выполнен в отдельном фланцевом модуле