Сканирующая Ближнепольная Оптическая Микроскопия (CБОМ) является одним из видов Сканирующей Зондовой Микроскопии. Основанная на ней методика исследования поверхности позволяет получать разрешение порядка 50 нм. Это разрешение гораздо лучше характерного предельного оптического разрешения (500 нм) благодаря использованию так называемого ближнего поля излучения. Главная особенность CБОМ состоит в измерении интенсивности света на расстоянии порядка 10 нм (гораздо меньшем длины волны света) от поверхности образца миниатюрным зондом (заостренным кончиком оптического волокна). Эта методика позволяет получать данные об оптических свойствах поверхности образца, производить нанолитографию, измерять локальные спектры на поверхности (например, спектры квантовых точек), контролировать качество оптических поверхностей (таких как зеркала, линцы, призмы и т.д.), измерять локальную флуоресценцию, получать карту распределения интенсивности света на полупроводниковых образцах. Солвер СБОМ система основана на инвертированном микроскопе и с помощью дополнительных измерительных головок легко трансформируется в систему Солвер БИО-М, широко используемую для биологических применений
Важные особенности
- Многоцелевой инструмент: БОМ, ПСМ, АСМ, СТМ
- Методы БОМ: «Отражения», «Пропускания» (поставляется с оптическим микроскопом Olympus IX-70 (IX-50))
- Диапазон сканирования: 80x80x4 мкм;
- Контроль обратной связи: неоптическая схема на основе Поперечно-Силовой Микроскопии
- Разрешение: меньше 100 нм
- Инвертированный оптический микроскоп: Olympus IX-70 (IX-50) или Биолам-П
- Модульный дизайн
|